New TOF Analyser
アナライザー内部の光学系システムを刷新し、質量分解能、質量精度および透過率が従来型に比べ向上しました。今までの TOF-SIMS では解析できなかった高質量範囲での質量解析の可能性が大きく広がりました。
高電流の1次イオン銃と組み合わせることで、深さ方向分析において、より微量な元素も検出出来るようになりました。
TOF-SIMS として初めて Delayed Extraction mode を実用化しました。これにより従来では難しかった高空間分解能と高質量分解能の両立を実現します。