M6 は、IONTOF社が提案する最新世代の TOF-SIMS です。最新のイオン銃およびアナライザーを搭載し、分析性能、操作性が大きく向上しました。あらゆる分野の分析ニーズに対応し、産業および学術研究に理想的な製品です。

 

アナライザー内部の光学系システムを刷新し、質量分解能、質量精度および透過率が従来型に比べ向上しました。今までの TOF-SIMS では解析できなかった高質量範囲での質量解析の可能性が大きく広がりました。

高電流の1次イオン銃と組み合わせることで、深さ方向分析において、より微量な元素も検出出来るようになりました。

TOF-SIMS として初めて Delayed Extraction mode を実用化しました。これにより従来では難しかった高空間分解能と高質量分解能の両立を実現します。

Nanoprobe 50 は M6 用に開発された最新型 Bi（ビスマス）クラスターイオン銃です。高空間分解能と高電流密度を兼ね備えており、微小領域のイメージングから深さ方向分析まで、無機・有機問わずあらゆるアプリケーションに対応する理想的な1次イオン銃です。

有機材料の TOF-SIMS スペクトルの解釈には、材料の知識や測定における経験が必要です。特に未知成分の構造推定は困難な場合があります。 M6 では新たに TOF MS/MS オプションが搭載可能となりました。 MS/MS の成分スペクトル解析、高速イメージング、深さ方向分析に対応し、汚染物質などの未知成分の構造推定に役立ちます。

 

材料、デバイスの開発には化学組成、物理的特性をナノスケールレベルで三次元的に評価することが重要です。 M6 Plusは、M6 と SPM を組み合わせた事により、化学組成と試料形状・表面物性を In-situ で評価出来ます。

 

 

Hybrid SIMS は、M6にサーモフィッシャーサイエンティフィック社の Q Exactive^TM を搭載した製品です。Q Exactive^TM の圧倒的な定性能力と、M6 の高分解能ガスクラスターイオン銃との強力な組み合わせにより、複雑な有機・バイオ試料の分析において、優れた性能を発揮します。

 

 

Qtac は、低エネルギーイオン散乱装置(LEIS: Low Energy Ion Scattering)です。独自の検出器により非常に高感度に最外原子層の情報が得られます。触媒、半導体、金属、ポリマー、燃料電池などの表面プロセス研究に最適な分析装置です。